光刻事業部 成功案例
序號 |
設備型號 |
生產廠家 |
服務形式 |
客戶名稱 |
臺數 |
年份 |
1 |
NSR1505G4D |
NIKON |
安裝調試 |
北京燕東 |
6 |
2008 |
2 |
吉林麥吉柯 |
2 |
2008 |
3 |
新鄉華丹 |
1 |
2008 |
4 |
揚州晶新 |
1 |
2009 |
5 |
NSR-1505G6E |
NIKON |
安裝調試 |
吉林華微 |
2 |
2008 |
6 |
NSR-2005I10C |
NIKON |
安裝調試 |
吉林華微 |
2 |
2008 |
7 |
杭州士蘭 |
1 |
2011 |
8 |
NSR-1755I7/G7 |
NIKON |
安裝調試 |
杭州士蘭 |
7 |
2010 |
9 |
北京燕東 |
8 |
2011 |
10 |
臺州水晶光電(LED)2寸 |
1 |
2012 |
11 |
臺州水晶光電(LED)4寸 |
1 |
2012 |
12 |
維修 |
北京中科院 |
1 |
2012 |
13 |
NSR-2005I9C |
NIKON |
安裝調試 |
杭州士蘭 |
1 |
2010 |
14 |
吉林華微 |
2 |
2011 |
15 |
MPA-600Super |
Canon |
安裝調試 |
北京燕東 |
1 |
2011 |
16 |
MPA-500Fab |
Canon |
安裝調試 |
啟東捷捷 |
2 |
2011 |
17 |
PLA-501FA |
Canon |
安裝調試 |
啟東捷捷 |
2 |
2011 |
18 |
MPA-600FA |
Canon |
安裝調試 |
北京燕東 |
1 |
2012 |
合 計 |
42 |
|
注入事業部 成功案例
序號 |
設備型號 |
生產廠家 |
服務形式 |
客戶名稱 |
臺數 |
年份 |
1 |
200SJ |
Varian- TEL |
安裝調試 |
北京燕東 |
2 |
2007 |
2 |
NV-10-80 |
Axcelis/EATON |
安裝調試 |
貴州永光 |
1 |
2008 |
3 |
NV6200A |
Axcelis/EATON |
安裝調試 |
吉林華微 |
2 |
2008 |
4 |
NV-10-160 |
Axcelis/EATON |
安裝調試 |
吉林華微 |
3 |
2009 |
5 |
350D |
VARIAN |
安裝調試 |
無錫鳳凰 |
1 |
2009 |
6 |
E220 |
VARIAN |
安裝調試 |
東光微電 |
1 |
2010 |
7 |
E1000 |
VARIAN |
安裝調試 |
杭州士蘭 |
2 |
2010 |
8 |
120XP |
VARIAN |
安裝調試 |
杭州士蘭 |
2 |
2011 |
9 |
NV-10SD-80 |
SEN |
安裝調試 |
福建安特 |
2 |
2010 |
10 |
NV-GSD-160 |
SEN |
安裝調試 |
江陰新順 |
1 |
2011 |
11 |
GSD HE |
SEN |
安裝調試 |
東光微電 |
1 |
2012 |
12 |
PI9500XR |
APPLIED |
安裝調試 |
東光微電 |
1 |
2012 |
合 計 |
19 |
|
薄膜刻蝕事業部 成功案例
序號 |
設備型號 |
生產廠家 |
服務形式 |
客戶名稱 |
臺數 |
時間 |
1 |
P5000-CVD |
AMAT |
安裝調試 |
深圳方正 |
7 |
2007-2008 |
2 |
安裝調試 |
吉林華微 |
1 |
2009 |
3 |
改造調試 |
北京中科院 |
1 |
2011 |
4 |
P5000-ETCH |
AMAT |
安裝調試 |
首鋼NEC |
2 |
2007 |
5 |
蕪湖德豪潤達 |
1 |
2012 |
6 |
Varian 3180 |
VARIAN |
調試 |
無錫華晶 |
1 |
2008 |
7 |
CONCEPT 1 |
NOVELLUS |
安裝調試 |
吉林華微 |
3 |
2009-2010 |
8 |
北京燕東 |
1 |
2011 |
9 |
揚州晶新 |
1 |
2011 |
10 |
LAM 4520 |
LAM |
安裝調試 |
吉林華微 |
3 |
2010 |
11 |
LAM 9400 |
LAM |
安裝調試 |
吉林華微 |
2 |
2010 |
12 |
ENDURA5500 |
AMAT |
安裝調試 |
士蘭集成 |
3 |
2011 |
13 |
成都SMIC |
2 |
2011 |
合 計 |
28 |
|
擴散事業部 成功案例
序號 |
設備型號 |
生產廠家 |
服務形式 |
客戶名稱 |
臺數 |
年份 |
1 |
DFG840 |
DISCO |
安裝調試 |
吉林華微 |
1 |
2011 |
2 |
DFG82IF |
DISCO |
安裝調試 |
捷豐電子 |
1 |
2011 |
3 |
DFG841 |
DISCO |
安裝調試 |
福建安特 |
1 |
2012 |
合 計 |
3 |
|
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