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光刻事業部 成功案例
序號 設備型號 生產廠家 客戶名稱 臺數 年份
1 NSR1505G4D NIKON 北京燕東 6 2008
2 吉林麥吉柯 2 2008
3 新鄉華丹 1 2008
4 揚州晶新 1 2009
5 NSR-1505G6E NIKON 吉林華微 2 2008
6 NSR-2005I10C NIKON 吉林華微 2 2008
7 杭州士蘭 1 2011
8 NSR-1755I7/G7 NIKON 杭州士蘭 7 2010
9 北京燕東 8 2011
10 臺州水晶光電（LED）2寸 1 2012
11 臺州水晶光電（LED）4寸 1 2012
12 北京中科院 1 2012
13 NSR-2005I9C NIKON 杭州士蘭 1 2010
14 吉林華微 2 2011
15 MPA-600Super Canon 北京燕東 1 2011
16 MPA-500Fab Canon 啟東捷捷 2 2011
17 PLA-501FA Canon 啟東捷捷 2 2011
18 MPA-600FA Canon 北京燕東 1 2012
合    計 42  
注入事業部 成功案例
序號 設備型號 生產廠家 客戶名稱 臺數 年份
1 200SJ Varian- TEL 北京燕東 2 2007
2 NV-10-80 Axcelis/EATON 貴州永光 1 2008
3 NV6200A Axcelis/EATON 吉林華微 2 2008
4 NV-10-160 Axcelis/EATON 吉林華微 3 2009
5 350D VARIAN 無錫鳳凰 1 2009
6 E220 VARIAN 東光微電 1 2010
7 E1000 VARIAN 杭州士蘭 2 2010
8 120XP VARIAN 杭州士蘭 2 2011
9 NV-10SD-80 SEN 福建安特 2 2010
10 NV-GSD-160 SEN 江陰新順 1 2011
11 GSD HE SEN 東光微電 1 2012
12 PI9500XR APPLIED 東光微電 1 2012
合    計 19  
薄膜刻蝕事業部 成功案例
序號 設備型號 生產廠家 客戶名稱 臺數 時間
1 P5000-CVD AMAT 深圳方正 7 2007-2008
2 吉林華微 1 2009
3 北京中科院 1 2011
4 P5000-ETCH AMAT 首鋼NEC 2 2007
5 蕪湖德豪潤達 1 2012
6 Varian 3180 VARIAN 無錫華晶 1 2008
7 CONCEPT 1 NOVELLUS 吉林華微 3 2009-2010
8 北京燕東 1 2011
9 揚州晶新 1 2011
10 LAM 4520 LAM 吉林華微 3 2010
11 LAM 9400 LAM 吉林華微 2 2010
12 ENDURA5500 AMAT 士蘭集成 3 2011
13 成都SMIC 2 2011
合    計 28  
擴散事業部 成功案例
序號 設備型號 生產廠家 客戶名稱 臺數 年份
1 DFG840 DISCO 吉林華微 1 2011
2 DFG82IF DISCO 捷豐電子 1 2011
3 DFG841 DISCO 福建安特 1 2012
合    計 3  
 
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