光刻 ：STEPPER

采取到PSS工藝對線寬的想要，普通型曝出機幾何圖形圖片寬度和掩膜板圖片寬度一比一，到目前為止未能具備PSS線寬精確的想要，主要NIKON STEPPER為５:１的步進電機電機控制高清高清投影光刻機。某個世間中國各省PSS餐飲行業豐富進行，IC2手NIKON步進電機電機控制高清高清投影光刻機逐漸變成PSS工藝的標準單位配值。

勻膠顯影設備

使用高速路滑動玩法使膠滴（定影液）不規則施膠在基片上。并使用機器手將基片遞送到熱板上不規則烘干設備，接下來在冷板上室內降溫。全時主動化的從片盒到片盒左右治理。