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我公司參與中科院“45-22 nm集成式光學臨界尺度(OCD)在線檢測設備”項目設備改造

發布時間:2016-08-16
熱烈祝賀:中國科學院微電子研究所在第七屆國際發明展覽會暨國際教學新儀器和新設備展覽會中展示的“固態射頻電源系統”和“45-22 nm集成式光學臨界尺度(OCD)在線檢測設備”兩個項目獲得“銀獎”。
 
我公司在“45-22 nm集成式光學臨界尺度(OCD)在線檢測設備”項目中主持完成PECVD設備工藝改造。
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